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로스나노 주식회사(Rusnano JSC) CVD COATING M/C 프로젝트는차세대 첨단소재 및 초전도·반도체·에너지 분야 핵심 부품 제조 공정에 적용되는CVD(Chemical Vapor Deposition) 기반 박막 코팅 설비를 구축하기 위한 사업으로,
정밀한 온도·압력·가스 유량 제어를 통해 고순도·고밀도의 박막을 안정적으로 형성하고,대면적 기판에서도 두께 균일성과 재현성을 확보할 수 있도록 설계된고정밀 CVD 코팅 장비를 개발·적용하는 것을 목표로 합니다.
또한 연속 공정 대응이 가능한 자동화 시스템과공정 모니터링·인터록 기반 안전 제어를 통합 적용하여양산 환경에서도 높은 신뢰성과 공정 안정성을 확보하고,
고부가가치 기능성 코팅 소재의 대량 생산 및글로벌 첨단소재 시장 경쟁력 강화를 지원하는CVD COATING M/C 구축 프로젝트입니다.