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(주)석원 ITO IN-LINE SPUTTER M/C 프로젝트는디스플레이 및 전자소자용 투명전극(ITO) 박막 형성을 목적으로,연속 공정 기반의 고균일·고재현성 증착을 구현하기 위한인라인 스퍼터링 장비 설계·제작 및 자동화 시스템 구축 사업입니다.
본 설비는 양산 안정성과 공정 품질 향상을 중점으로 개발되었습니다.